合作伙伴：安徽某半導(dǎo)體材料廠

儀器類型：氣質(zhì)聯(lián)用儀 ，離子色譜

品牌：安捷倫 賽默飛

型號(hào)： 7890A-5975C 

2025年01月11日， 安徽某半導(dǎo)體材料廠購(gòu)買我司1，安捷倫氣質(zhì)聯(lián)用儀（GCMS） 7890A-5975C ＋吹掃捕集 ； 2，賽默飛（戴安）離子色譜 （陰陽(yáng)離子各一套）安裝培訓(xùn)調(diào)試完畢，感謝客戶的支持與認(rèn)可

使用安捷倫氣質(zhì)聯(lián)用儀GCMS7890A-5975C配合吹掃捕集來分析半導(dǎo)體材料，整體來說是比較合適的，以下是具體分析：

儀器性能優(yōu)勢(shì)

高靈敏度：5975C質(zhì)譜檢測(cè)器具有高靈敏度，能夠檢測(cè)飛摩爾級(jí)別的化合物。這對(duì)于半導(dǎo)體材料中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)非常重要，因?yàn)檫@些雜質(zhì)雖然含量很低，但可能會(huì)對(duì)半導(dǎo)體器件的性能產(chǎn)生重大影響。

高分辨率與寬質(zhì)量范圍：5975C提供高分辨能力，確保復(fù)雜樣品中化合物的準(zhǔn)確識(shí)別，其質(zhì)量數(shù)范圍為1.6-1050amu。半導(dǎo)體材料的成分復(fù)雜，不同的元素和化合物可能會(huì)在相近的質(zhì)量數(shù)下出現(xiàn)，高分辨率有助于將它們區(qū)分開來，從而準(zhǔn)確地進(jìn)行定性和定量分析。

快速掃描速率：掃描速率可達(dá)12500 amu/秒，適合快速分析和瞬態(tài)信號(hào)的捕捉。在半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)過程中，需要快速得到分析結(jié)果以便及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)，該儀器的快速掃描速率能夠滿足這一需求。

電子氣路控制：7890A GC采用的EPC技術(shù)，提供準(zhǔn)確的氣路壓力控制，提高保留時(shí)間性。這有助于獲得更穩(wěn)定、可重復(fù)的色譜分離效果，對(duì)于半導(dǎo)體材料這類需要嚴(yán)格質(zhì)量控制的樣品分析至關(guān)重要。

吹掃捕集的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

適用于揮發(fā)性有機(jī)物分析：吹掃捕集是一種常用的樣品前處理技術(shù)，特別適合于揮發(fā)性有機(jī)物的富集和分析。半導(dǎo)體材料在生產(chǎn)過程中可能會(huì)使用到各種有機(jī)溶劑，或者在材料表面殘留有揮發(fā)性有機(jī)雜質(zhì)，通過吹掃捕集可以將這些揮發(fā)性有機(jī)物有效地富集起來，然后進(jìn)行后續(xù)的氣質(zhì)聯(lián)用分析。

無需溶劑萃?。号c傳統(tǒng)的溶劑萃取等前處理方法相比，吹掃捕集無需使用有機(jī)溶劑，避免了溶劑帶來的干擾和污染。這對(duì)于半導(dǎo)體材料的分析尤為重要，因?yàn)槿魏晤~外的雜質(zhì)都可能影響分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。

自動(dòng)化程度高：吹掃捕集裝置可以與GCMS7890A-5975C實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化連接和控制，減少了人工操作的誤差，提高了分析效率。在半導(dǎo)體材料的批量檢測(cè)中，自動(dòng)化程度高的前處理方法可以大大提高工作效率，確保分析結(jié)果的一致性。

使用賽默飛（戴安）陰陽(yáng)離子離子色譜儀分析半導(dǎo)體材料具有多方面的優(yōu)勢(shì)，

高效高容量色譜柱：賽默飛自主研發(fā)和生產(chǎn)的高效高容量離子色譜柱，可滿足各種分析條件下相關(guān)組分的分離要求，具有柱效高、柱容量大的特點(diǎn)，能改善弱保留組分分離，對(duì)于高基濃度的樣品中痕量組分分離優(yōu)勢(shì)突出，且可百分兼容反相有機(jī)溶劑，適應(yīng)pH范圍0-14，使用壽命是普通分析柱的2-4倍。

在線電解淋洗液發(fā)生器：如RFC-30在線電解淋洗液發(fā)生器，可提供用于陰離子分離的KOH（NaOH，LiOH，或CO32?/HCO??）以及陽(yáng)離子分離的MSA淋洗液，濃度范圍0.1-100 mM，泵只通過高純?nèi)ルx子水，可延長(zhǎng)泵及密封圈的使用壽命，采用變色龍軟件控制及診斷錯(cuò)誤。

自動(dòng)電解連續(xù)再生微膜抑制器：使用該抑制器無需配制再生液，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)自動(dòng)再生功能，兼容梯度淋洗，改善基線漂移，且抑制器死體積小，柱后死體積小，峰型更加尖銳，無論標(biāo)準(zhǔn)溶液還是樣品，均采用同一抑制器，重現(xiàn)性結(jié)果非常穩(wěn)定，無硫酸殘留問題，適合痕量樣品的分析。

變色龍軟件：變色龍（Chromeleon?）軟件可為離子色譜提供智能操作與數(shù)據(jù)處理平臺(tái)，不僅可實(shí)現(xiàn)對(duì)儀器的實(shí)時(shí)操作與監(jiān)控，還能快速便捷地協(xié)助用戶完成從進(jìn)樣到數(shù)據(jù)處理的整個(gè)過程。

半導(dǎo)體材料分析應(yīng)用

痕量無機(jī)陰陽(yáng)離子檢測(cè)：賽默飛不斷開發(fā)各類半導(dǎo)體材料中痕量無機(jī)陰離子、陽(yáng)離子和金屬離子的檢測(cè)方案，為半導(dǎo)體集成電路制造行業(yè)提供多種解決方案，在晶圓表面清洗化學(xué)品、晶圓制程化學(xué)品等的檢測(cè)中發(fā)揮重要作用。

多種樣品分析：離子色譜法可同時(shí)檢測(cè)樣品中的多種成分，對(duì)于半導(dǎo)體材料及其生產(chǎn)過程中的各種樣品，如生產(chǎn)用水、高純?cè)噭┑?，能夠快速、?zhǔn)確地分析其中的陰陽(yáng)離子含量，從而保證產(chǎn)品的品質(zhì)和性能。

綜合分析能力

多種進(jìn)樣方式選擇：GCMS7890A-5975C除了支持吹掃捕集進(jìn)樣外，還具有分流/不分流進(jìn)樣、填充柱進(jìn)樣、冷柱頭進(jìn)樣等多種進(jìn)樣方式。這意味著可以根據(jù)不同的半導(dǎo)體材料樣品和分析需求，靈活選擇最合適的進(jìn)樣方法，進(jìn)一步提高分析的準(zhǔn)確性和可靠性。

強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：該儀器的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)功能強(qiáng)大，具有監(jiān)控和智能診斷功能，能夠進(jìn)行手動(dòng)/自動(dòng)調(diào)諧、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)檢索、分析結(jié)果報(bào)告、定量分析及譜庫(kù)檢索等多種操作。在分析半導(dǎo)體材料時(shí)，可以通過這些功能對(duì)大量的分析數(shù)據(jù)進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的處理和解讀，為半導(dǎo)體材料的質(zhì)量控制和研發(fā)提供有力的數(shù)據(jù)支持。