1974年

產(chǎn)出第一臺ICP商品機(jī)

上世紀(jì)60年代末期，采用電感耦合等離子體源的原子光譜技術(shù)成為當(dāng)時(shí)應(yīng)用于微量元素分析的一項(xiàng)非常有前途的技術(shù)。1970年人們注意到，使用當(dāng)時(shí)的光譜儀分析巖石樣品中的微量元素遇到高濃度基體（高于30%）時(shí)，基體譜線會對微量元素產(chǎn)生明顯的干擾。對富含譜線的基體元素Ca、Al、Fe等來說，產(chǎn)生的干擾尤為嚴(yán)重。這種潛在的制約因素存在促使人們尋求其它的多元素微量分析方法，直至1974年才由美國Applied Research Laboratories生產(chǎn)出第一臺商品機(jī)，該儀器用于溶液分析。

1974年

直流等離子體技術(shù)突破

經(jīng)過嘗試，認(rèn)為常壓電流（DC）和射頻（RF）等離子體在應(yīng)用中顯出這種作用，特別是ICP作為發(fā)射源使等離子體中分析物有效電離能夠滿足新一代儀器源的要求。同時(shí)也注意到惰性氣體在大氣壓下的電等離子體可能是一個(gè)很好的離子源。因此人們采用四極桿質(zhì)量分析器和通道式離子檢測器開展可行性研究。Gray在1974年完成了直流等離子體技術(shù)突破。

1975-1980年

ICP與MS相結(jié)合

一些項(xiàng)目研究也隨之在美國和加拿大兩國開展，美國研究人員主要采用ICP,而加拿大研究人員采用微波誘導(dǎo)等離子體MIP（1981），后來也改用ICP（1983）。在此期間美、英建立了密切的項(xiàng)目合作關(guān)系，共同解決ICP與MS結(jié)合時(shí)的一系列關(guān)鍵技術(shù)問題：

1，由于ICP高溫射頻場帶來的問題；

2，高溫等離子體與質(zhì)譜的接口問題；

3，如何降低等離子體對地電位問題等。

1981年

獲得第一張ICP譜圖

而這些問題的集中于必須提供一個(gè)樣品入射孔，同時(shí)入射孔也要足夠大，以避免在它前面形成一個(gè)冷界面層。這就要求孔徑不小于0.2mm，還要改進(jìn)設(shè)備提取氣體能力。1981年Gray在Surrey實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)完成了ICP源上所預(yù)期性能的設(shè)備，獲得了第一張ICP譜圖（Gray，1982；Date和Gray，1983a；Gray和Date，1983；Gray，1986a）。

1984年

實(shí)驗(yàn)室首次安裝ICP-MS

1983年英國VG公司與加拿大Sciex公司率先推出世界上第一臺ICP-MS。1984年在用戶實(shí)驗(yàn)室才首次安裝ICP-MS。在此以后ICP-MS在化學(xué)分析中廣泛應(yīng)用開來。

安捷倫ICP-MS 7500/7700

1987年第一代產(chǎn)品，第一臺計(jì)算機(jī)控制安捷倫ICP-MS儀器，型號PMS-100，

現(xiàn)在安捷倫7500系列有：2000年第六代 安捷倫7500A,7500I,7500S

                                      2001年第七代，安捷倫7500C

                                      2002年第八代，安捷倫7500CS

                                      2003年第九代，安捷倫7500CE

                                      2007年第十代，安捷倫7500CX

                                      2009 安捷倫 ICP-MS 7700上市。